液/气馈通装置，用于将液体或气体输送到真空安装设备。

这些装置主要用于向真空安装的设备输送液体或气体，通常用于维持温度或驱动气液驱动转子。标准法兰和底板端口通过通孔焊接一根或多根管子，这些管子从法兰两侧延伸而出。管子的直径各异，通常末端连接小型法兰或类似世伟洛克（Swagelok）的气体接头。

对于多管馈通装置，某些管径/管数组合可能无法完全容纳在法兰的“自由”区域内，并且某些真空侧终端尺寸可能大于腔室端口的孔径。产品部分提供了兼容性矩阵。

有时，气液馈通会连接到非接地电位的内部设备。对于此类应用，请使用带管状导体的电气隔离电源馈通。

在选择气液馈通装置时，主要考虑因素是匹配的腔室法兰、馈通管的数量、管径和合适的管端。

低温液体馈通装置与气液馈通装置类似，但其管路与法兰之间的热路径较长。使用薄壁不锈钢管和较长的连接长度会降低传热效率和低温液体蒸发速率。