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用于精确控制的高真空手动角阀

角阀是一种通过手动或气动方式旋转螺纹来驱动阀杆上下运动,从而使阀座打开或关闭,进而控制真空系统气流通断的装置。阀体设计有90°直角(L型)和45°直角(Y型)两种。连接法兰有KF、ISO、CF等多种类型,此外还有管端可供选择。

 

    特征

    手动操作的角阀是无需自动化时的理想选择,常用于粗加工和高真空前级管路,也是优秀的腔室排气阀。角阀的应用范围十分广泛,涵盖半导体制造、等离子体物理研究以及核加速器等领域。Lifei 提供全系列角阀,适用于各种真空应用,例如高真空工艺流程、泵送系统中的高真空应用、半导体技术和科研系统。

    规格

    可根据要求提供更大或特殊尺寸

    身体

    :304 SS(其他材料可按需提供)

    波佩特

    :304 SS(其他材料可按需提供)

    风箱

    焊接式 AM-350(可选)

    螺线管

    :选项

    位置指示器

    :选项

    海豹

    :Viton O型环

    泄漏率

    :2×109std.cc./秒

    压力范围

    :1x10-⁹托至760托Viton密封盖

    最大限度开启前压力:1.2 巴

    工作气压:4~6.5 kg/cm²

    保养周期:16 至 50~500,000 次●(孔口完全打开):63 至 150~250,000

    :200 或更大~取决于应用场景

    烘烤限制:150Viton密封盖

    更大的 或者 特别的 尺寸 可用的 之上 要求

    图片1-12

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