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用于精确控制的高真空手动角阀
特征
手动操作的角阀是无需自动化时的理想选择,常用于粗加工和高真空前级管路,也是优秀的腔室排气阀。角阀的应用范围十分广泛,涵盖半导体制造、等离子体物理研究以及核加速器等领域。Lifei 提供全系列角阀,适用于各种真空应用,例如高真空工艺流程、泵送系统中的高真空应用、半导体技术和科研系统。
规格
可根据要求提供更大或特殊尺寸
| ●身体 | :304 SS(其他材料可按需提供) |
| ●波佩特 | :304 SS(其他材料可按需提供) |
| ●风箱 | 焊接式 AM-350(可选) |
| ●螺线管 | :选项 |
| ●位置指示器 | :选项 |
| ● 海豹 | :Viton O型环 |
| ●泄漏率 | :2×109std.cc./秒 |
| ●压力范围 | :1x10-⁹托至760托Viton密封盖 |
● 最大限度△ 开启前压力:1.2 巴
● 工作气压:4~6.5 kg/cm²
●保养周期:16 至 50~500,000 次●(孔口完全打开):63 至 150~250,000
:200 或更大~取决于应用场景
● 烘烤限制:150℃Viton密封盖
● 更大的 或者 特别的 尺寸 可用的 之上 要求




