CF 腔室
特征
- 超高真空能力：设计用于低至 1×10⁻¹³ Torr (≈1.3×10⁻¹³ mbar) 甚至更低的压力，采用金属垫片进行密封。
- 耐高温烘烤：全金属结构使其能够承受高达 450°C 的烘烤温度，以去除水蒸气和其他污染物。某些型号甚至可以在短时间内承受更高的温度。此外，它们也兼容低至 -196°C 的低温环境。
- 可靠的金属密封：密封是通过将法兰上锋利的“刀刃”压入柔软的铜垫片中实现的。这种“无性别”设计允许任意两个相同尺寸的法兰相互配合。垫片为一次性使用，但即使在极端温度变化下也能提供可靠的密封。
提供可旋转和不可旋转两种版本，并带有通孔和螺纹孔。公制螺纹孔可作为特殊订单订购。
应用
- 常用材料：大多采用 304 或 316L 不锈钢制成。也有铝制版本，但需要铝制垫片，且烘烤温度上限较低（约 200°C）。
规格
盲板和法兰：304不锈钢（其他材质可按需提供）
垫片：OFHC铜垫片或氟橡胶垫片
螺栓：SS304
温度范围：-200℃~450℃（OFHC铜）
真空范围：1*10-13 mbar
扭矩额定值：CF35 及以下型号为 220kgf-cm
CF63 及以上 360 kgf-cm
可根据要求提供更大或特殊尺寸
